Description of the publication:

Authors:

Andrzej Sikora

Title:

Cyfrowa rekonstrukcja przekroju mikrostruktur na podstawie kilku pomiarów powierzchni metodami mikroskopii sił atomowych

Journal:

Prace Wrocławskiego Towarzystwa Naukowego, seria B, nr 214

Year:

2008

Vol:

----

Pages:

33–36

ISSN/ISBN:

0084-3024

DOI:

-----

Link:

http://www.wtn.wroc.pl/content/view/119/75/

Keywords:

Mikroskopia sił atomowych

Abstract:

Jednym z istotnych problemów mikroskopii bliskiego pola, a w szczególności mikroskopii sił atomowych (AFM) jest jakość odwzorowania powierzchni. Ze względu na szereg czynników, w tym także na kształt ostrza skanującego, konieczne jest stosowanie różnorodnych metod umożliwiających uzyskanie jak najmniej zniekształconego obrazu badanych struktur. W niniejszym artykule zostanie zaproponowana metoda cyfrowej rekonstrukcji przekroju struktury na podstawie kilku wyników pomiarów, uzyskanych dla różnej orientacji ostrze–powierzchnia skanowana.

References:

♦ Stevens R., Frederick N., Smith B., Morse D., Stucky G. and Hansma P., Carbon nanotubes as probes for atomic force microscopy, Nanotechnology 11/2000, s. 1
♦ Nguyen C., Chao K., Stevens R., Delzeit L., Cassell A., Han J. and Meyyappan M., Carbon nanotube tip probes: stability and lateral resolution in scanning probe microscopy and application to surface science in semiconductors, Nanotechnology 12/2001, s. 363
♦ Machleidt T., Kastner R. and Franke K., Nanoscale Calibration Standards and Method,s ed G Wilkening and L Koenders, (Berlin: Wiley-VCH) 2005, s. 297
♦ Czerkas S., Dziomba T. and Bosse H., Nanoscale Calibration Standards and Methods, ed G Wilkening and L Koenders, (Berlin: Wiley-VCH) 2005, s. 311
♦ Sikora A., Correction of structure width measurements performed with a combined shear-force/tunneling microscope, Meas. Sci. Technol. 18, vol. 2/2007, s. 456
♦ Markiewicz P. and Goh M., Simulation of atomic force microscope tip-sample/sample-tip reconstruction, J. Vac. Sci. Technol. B 13 3/1995 s. 1115
♦ Dongmo S., Troyon M., Vautrot P., Delain E. and Bonnet N., Blind restoration method of scanning tunneling and atomic force microscopy images, J. Vac. Sci. Technol. B 14 2/1996, s. 1552
♦ Williams P. M., Shakesheff K. M., Davies M. C., Jackson D. E., Roberts C. J. and Tendler S. J. B., Blind reconstruction of scanning probe image data J. Vac. Sci. Technol. B 14 2/1996 s. 1557
♦ Villarrubia J. S., Scanned probe microscope tip characterization without calibrated tip characterizers J. Vac. Sci. Technol. B 14 2/1996 s. 1518

Example figure:

Widok program wykorzystanego do tworzenia pliku wynikowego topografii powierzchni na podstawie kilku obrazów składowych zarejestrowanych dla różnych kątów nachylenia sondy pomiarowej.