Description of the publication:

Authors:

Andrzej Sikora

Title:

Diagnostyka struktur półprzewodnikowych z wykorzystaniem zaawansowanych technik bliskiego pola

Journal:

Elektronika

Year:

2010

Vol:

9

Pages:

93–95

ISSN/ISBN:

0033-2089

DOI:

-----

Link:

http://www.sigma-not.pl/publikacja-54282-diagnostyka-struktur-p%C3%B3%C5%82przewodnikowych-z-wykorzystaniem-zaawansowanych-technik-bliskiego-pola-elektronika-konstrukcje-technologie-zastosowania-2010-9.html

Keywords:

Mikroskopia sił atomowych, diagnostyka układów scalonych, elektrostatyka, sonda Kelvina, EFM

Abstract:

W artykule omówiono możliwości wykorzystania mikroskopii bliskiego pola w diagnostyce elementów dyskretnych układów scalonych. Wysoka zdolność rozdzielcza tej techniki pomiarowej, w połączeniu z możliwością uzyskania szerokiego spektrum informacji na temat badanego obiektu, czyni ją doskonałym narzędziem w weryfikacji niezawodności nowo projektowanych układów scalonych. Zaprezentowane wyniki demonstrują efektywność mikroskopii bliskiego pola w ocenie funkcjonowania poszczególnych elementów.

References:

♦Y. Martin, C. C. Williams, H. K. Wickramasinghe, "Atomic force microscope-force mapping and profiling on a sub 100-A scale", J. Appl. Phys. 61 (10), pp. 4723-4729, 1987.
♦ J. E. Stern, B. D. Terris, H. J. Mamin, D. Rugar, "Deposition and imaging of localized charge on insulator surfaces using a force microscope", Appl. Phys. Lett. 53, 2717, pp. 2717-2719, 1988.
♦ B. D. Terris, J. E. Stern, D. Rugar, H. J. Mamin, "Localized charge force microscopy", Vac J,. Sci. Technol. A8, 374, pp. 374-377, 1990.
♦ S. Morita, (Ed.), "Roadmap of Scanning Probe Microscopy", Berlin: Springer, 2006.
♦ M. Nonnenmacher, M. P. O'Boyle, H. W. Wickramasighe, "Kelvin probe force microscopy", Appl. Phys. Lett. 58 (25), pp. 2921-2923, 1991.
♦ H. O. Jacobs, H. F. Knapp, S. Muller, A. Stemmer, "Surface potential mapping: A qualitative material contrast in SPM", Ultramicroscopy 69, 239, pp. 39-49, 1997.
♦ S. Kitamura, K. Suzuki, M. Iwatsuki, "High resolution imaging of contact potential difference using a novel ultrahigh vacuum non-contact atomic force microscope technique", Appl. Surf. Sci. 140, pp. 265-270, 1999.
♦ A. Sikora, "The influence of the electrical field on structures dimension measurement in Electrostatic Force Microscopy mode", Optica Applicata Vol. 39, No. 4, pp. 933-941, 2009.

Example figure:

Hybrydowy obraz 3D topografii i mikroskopii sił elektrostatycznych przedstawiający aktywne struktury układu scalonego.