Opis trybu pomiarowego FMM (Force Modulation Microscopy)

Tryb modulowanej siły nacisku jest oparty na trybie kontaktowym mikroskopii sił atomowych (AFM). Mierzy względną elastyczność/twardość powierzchni i jest zazwyczaj używany do badania rozkładu obszarów w kompozytach. Podobnie jak tryby LFM i MFM, tryb modulowanej siły nacisku umożliwia równoczesną rejestrację topografii jak i obrazowania właściwości materiałowych.

W FFM ostrze przesuwa się po powierzchni podobnie jak w trybie kontaktowym AFM. Dodatkowo periodyczny sygnał mechanicznie odchyla belkę z ostrzem w osi Z. Amplituda ugięcia belki, wynikająca z zastosowanego sygnału, zmienia się w zależności od właściwości sprężystych próbki.

Powstający obraz FFM jest mapą odpowiedzi elastycznej próbki. Częstotliwość sygnału wynosi typowo kilka kiloherców i jest ona większa od częstotliwości sygnału sprzężenia zwrotnego. Dzięki temu informacja o topografii może być oddzialana od lokalnych zmian elastyczności próbki i dwa rodzaje obrazów mogą zostać tworzone równocześnie.

 

Przykłady (kliknij, aby powiększyć)


Topografia próbki.

Obraz FMM próbki (amplituda).
Powierzchnia podłoża półprzewodnikowego po procesie elektrochemicznym. Obraz FMM ujawnia obszary (ciemne plamy) o mniejszej twardości. Pole skanowania 12x12um.

Topografia próbki.

Obraz FMM próbki (amplituda).
Powierzchnia próbki testowej (aluminium napylone na podłożu krzemowym). Pole skanowania 15x15um.

Topografia próbki.

Obraz FMM próbki (amplituda).
Powierzchnia próbki testowej (warstwa metaliczna napylona na podłożu krzemowym). Pole skanowania 20x20um.

Topografia próbki.

Obraz FMM próbki (amplituda).
Powierzchnia struktury układu scalonego (połączenia metaliczne). Pole skanowania 20x20um.

Topografia próbki.

Obraz FMM próbki (amplituda).

Obraz FMM próbki (faza).
Powierzchnia próbki polimerowej. Pole skanowania 4x4um.


poprzednie

do góry

następne