Opis trybu pracy nanolitografia.

Nanolitografia jest procesem wytworzenia określonego wzoru na powierzchni podłoża. Proces można wykonywać poprzez mechaniczne oddziaływanie ostrzem na powierzchnię (efekt przypominający drapanie) lub też poprzez lokalne utlenianie powierzchni (poprzez spolaryzowanie odpowiednim potencjałem przewodzącego ostrza). Możliwe jest także dokonywanie manipulacji takimi obiektami jak łańcuchy DNA, nanorurki, pojedyncze molekuły. Wszystkie te działania mogą być wykorzystywane do realizacji badań nad zjawiskami fizycznymi, chemicznymi, biologicznymi w mikro- i nanoskali.

 

Przykłady (kliknij, aby powiększyć)


Topografia podłoża krzemowego z napisem wytworzonym metodą lokalnego utleniania (LAO - ang. Local Anodic Oxidation). Pole skanowania 4.1x4.1um.

Topografia podłoża poliwęglanu poddanego procesowi nanoindentacji (dwa różnej wielkości wgniecenia wykonane ostrzem, z różnymi siłami). Pole skanowania 540x540nm.

Napis "SEP" wytworzony metodą "drapania" powierzchni poliwęglanu. Pole skanowania 3x3um.
 


poprzednie

do góry

następne