Opis trybu pomiarowego EFM (Electrostatic Force Microscopy)

Electrostatic Force Microscopy (EFM) - mikroskopia sił elektrostatycznych jest metodą pomiarową pochodną do trybu dynamicznego (tzw. TappingMode), umożliwiającą pomiar rozkład gradientu pola elektrycznego na powierzchni próbki. Pomiar ten wykonywany jest w tzw. trybie LiftMode polegającym na wykonaniu pierwszego skanu odwzorowującego powierzchnię próbki a następnie drugiego skanu, gdzie spolaryzowane ładunkiem elektrycznym względem próbki ostrze przesuwane jest w pewnej odległości nad powierzchnią (odtwarzając zarejestrowaną w pierwszym przejściu topografię). Zmiany częstotliwości i fazy oscylacji ostrza pozwalają odwzorować lokalnie naładowane domeny na powierzchni próbki.

 

Przykłady (kliknij, aby powiększyć)


Fragment układu scalonego. Widok z kamery CCD.
 

Widok topografii 3D widocznego powyżej fragmentu układu scalonego. Pole skanowania 80x80um.

Widok topografii 2D widocznego powyżej fragmentu układu scalonego. Pole skanowania 80x80um.

Obraz rozkładu pola elektrycznego na powierzchni fragmentu układu scalonego przy wyłączonym napięciu zasilania. Widoczny obrys krawędzi struktur jest artefaktem. Pole skanowania 80x80um.

Obraz rozkładu pola elektrycznego na powierzchni fragmentu układu scalonego przy włączonym napięciu zasilania. Pole skanowania 80x80um.

Fragment układu scalonego. W centralnej części widoczne są rezystory dyfuzyjne. Widok z kamery CCD.

Widok topografii 2D widocznego powyżej fragmentu układu scalonego (fragmenty rezystorów dyfuzyjnych). Pole skanowania 80x80um.

Obraz rozkładu pola elektrycznego na powierzchni fragmentu układu scalonego przy wyłączonym napięciu zasilania. Widoczny obrys krawędzi struktur jest artefaktem. Pole skanowania 80x80um.

Obraz rozkładu pola elektrycznego
na powierzchni fragmentu układu scalonego przy włączonym napięciu zasilania. Widoczne są spadki napięcia na strukturach rezystorów. Pole skanowania 80x80um.


poprzednie

do góry

następne