Opis sprzętu


VEGA//SBH to cyfrowy mikroskop skaningowy w pełni kontrolowany przez komputer PC. Przeznaczony jest do obserwacji próbek przewodzących. Wyjątkowe własności optyki elektronowej, wolny od zakłóceń obraz cyfrowy o najwyższej czystości, wyspecjalizowane oprogramowanie pracujące w środowisku Windows pozwalające na intuicyjne sterowanie mikroskopem i zbieranie obrazów oraz zapisywanie tych obrazów w formatach graficznych BMP, TIFF, JPG i JPG 2000, zaawansowany system archiwizacji i przetwarzania zdjęć cyfrowych, zestaw narzędzi pomiarowych (długości, kątów, powierzchni itp.), automatyczne definiowanie ustawień mikroskopu i wiele innych zautomatyzowanych operacji – to charakterystyczne cechy tego urządzenia.

Zaawansowana konstrukcja kolumny mikroskopu bez jakichkolwiek mechanicznie centrowanych elementów oraz stosowanie stałej apertury zapewnia wygodną pracę i łatwą obsługę mikroskopu. Zastosowany w mikroskopie układ optyczny składający się z czterech soczewek pozwala na płynne konfigurowanie układu i pracę z optymalizacją rozdzielczości, głębi ostrości lub pola widzenia.


Skaningowy mikroskop elektronowy VEGA/SBH zawiera detektor elektronów odbitych (SE) - detektor typu ET z kryształem YAG, detektor elektronów wtórnie rozproszonych (BSE).

System mikroanalizy rentgenowskiej EDS INCA PentaFET x 3 produkcji Oxford Instruments:

  • Detektor litowo-krzemowy (Li-Si) o rozdzielczości 133 eV z okienkiem 30 mm2
  • Zaawansowany system zawierający układ transferu obrazu z mikroskopu co umożliwia analizę punktową, liniową (profile zmiany stężenia pierwiastków wzdłuż linii), oraz tworzenie map rozkładu pierwiastków.

Pomiary na obrazach:

  • Odległości
  • Długości
  • Okręgi, elipsy, równoległoboki
  • Nieregularne powierzchnie
  • Kalibracja wielkości pikseli
  • Powierzchnie regularne i nieregularne
  • Przesyłanie danych z pomiarów do obróbki statystycznej

Operacje na obrazach:

  • Składanie zdjęć zrobionych z ustawieniem ostrości na różnych planach(głębokościach) w jeden ostry obraz.
  • Operacje binarne(+, -, x, /, różnica, maksimum, minimum, maska, operacje AND, OR, XOR) z dobieraną wagą udziału poszczególnych obrazów
  • Podział na składowe RGB
  • Konstrukcja obrazów trójwymiarowych na podstawie skali jasności
  • Pseudokolor (zmian skali szarości w inne skale koloru)

Powierzchnia obiektów:

  • Klasyfikacja obiektów na podstawie skali szarości lub koloru pozwala na separację określonych obiektów, ich kolorowanie i pomiar zajmowanej przez nie powierzchni oraz ich procentowy udział.

Rozdzielczość:

  • 3,0nm przy 30kV (obraz z detektora SE, wysoka próżnia)

Powiększenie:

  • 6 – 1 000 000 razy (przy WD=30mm, HV=30kV, rozmiar obrazu 512x512 pikseli)

Źródło elektronów:

  • Katoda wolframowa

Napięcie przyspieszające:

  • 200V do 30kV

Prąd próbki:

  • 1pA do 0.002mA

Komora mikroskopu:

  • Średnica wewnętrzna – 160mm
  • Szerokość drzwi komory – 120mm
  • Stolik próbek (eucentryczny) zainstalowany w komorze
    Przesuwy stolika:
    X = 40mm (ręczny, -20mm do +20mm)
    Y = 24mm (ręczny, -12mm do +12mm)
    Z = 27mm (ręczny)
    Obrót 360 stopni (ręczny)
    Pochylenie stolika: -90 do +90 stopni

Układ próżniowy mikroskopu:

  • Próżnia robocza w trybie wysokiej próżni < 1x10-2 Pa

Wielkość obrazu:

  • Maksymalnie do 8 192 x 8 192 pikseli(zapis)
  • Dobierany osobno dla obrazów live (w 3 krokach) i dla obrazów składowanych (10 kroków)
  • Wybierany kwadrat lub prostokąt 4:3/2:1

Skanowanie:

  • Prędkość skanowania od 160ns do 10ms na piksel regulowane w sposób ciągły lub krokowy
  • Okno ogniskowania – kształt, rozmiar i położenie regulowane w sposób ciągły


© Instytut Elektrotechniki Oddział Technologii i Materiałoznawstwa we Wrocławiu
Pracownia Badań Strukturalnych, ul. M. Skłodowskiej-Curie 55/61, 50-369 Wrocław