Technika SEM


Elektronowy mikroskop skaningowy (SEM - Scanning Electron Microscope) - przyrząd, rodzaj mikroskopu elektronowego, w którym obraz uzyskiwany jest w wyniku "bombardowania" próbki wiązką elektronów, która skupiona jest na przedmiocie w postaci małej plamki. Wiązka omiata obserwowany obszar linia po linii. Układ rejestruje elektrony odbite, przechodzące przez próbkę (pokrytą cienką metaliczną warstwą) lub elektrony wtórne emitowane przez próbkę w wyniku pobudzenia próbki przez elektrony wiązki.

Pierwsze konstrukcje mikroskopu były prostymi konstrukcjami elektronooptycznymi (patrz schemat), obecnie są rozwiniętymi systemami badawczymi, do analizowania własności elektronów oraz promieniowania elektromagnetycznego emitowanego w wyniku bombardowania próbki elektronami. Stosuje się w nich metody wypracowane przez tomografię komputerową do tworzenia obrazów, spektroskopię elektronową i fal elektromagnetycznych.

Zdolność rozdzielcza mikroskopu elektronowego jest znacznie większa od mikroskopu optycznego, a zależy ona głównie od wielkości plamki wiązki elektronowej na próbce. Tak samo jak w mikroskopie optycznym również w mikroskopie elektronowym, poza ograniczeniem technicznym (dokładność wykonania układu) istnieje ograniczenie fizyczne ograniczające zdolność rozdzielczą wynikające z dyfrakcji fali de Broglie'a elektronów o długości równej:



gdzie:

  • h - stała Plancka,
  • m - masa elektronu,
  • v - prędkość elektronu.


Źródło: Wikipedia


© Instytut Elektrotechniki Oddział Technologii i Materiałoznawstwa we Wrocławiu
Pracownia Badań Strukturalnych, ul. M. Skłodowskiej-Curie 55/61, 50-369 Wrocław